質(zhì)譜配套氮?dú)獍l(fā)生器主要由儲(chǔ)罐組件、凈化組件、氮?dú)饩彌_系統(tǒng)、氮氧分離系統(tǒng)等四大部件組成。這些部件的作用分別是什么呢？

　　罐組件由空氣儲(chǔ)罐、安全閥、球閥等組成，其作用是保證系統(tǒng)用氣平穩(wěn)外，還可以降低壓縮空氣的出氣溫度，使壓縮空氣中水、油等雜質(zhì)隨壓縮空氣溫度的降低而分離出來(lái)，有利于延長(zhǎng)后處理設(shè)備壽命，同時(shí)提高壓縮空氣的品質(zhì)。

　　凈化組件主要由管道過(guò)濾器、精過(guò)濾器、超精過(guò)濾器、冷凍干燥機(jī)、除油器等組成，其作用是除去壓縮空氣中的塵埃、水和油，為氮氧分離系統(tǒng)提供清潔的原料。

　　氮?dú)饩彌_系統(tǒng)由緩沖罐、粉塵過(guò)濾器、流量計(jì)、氣動(dòng)閥、節(jié)流閥、氮?dú)饧兌确治鰞x等組成。其主要作用是使氮?dú)鈮毫?、純度和流量平穩(wěn)，氮?dú)饧兌确治鰞x可即時(shí)測(cè)出氮?dú)饧兌?，并自?dòng)控制氣動(dòng)閥將不合格氮?dú)馀趴铡Ｓ糜诰鈴牡醴蛛x系統(tǒng)分離出來(lái)的氮?dú)獾膲毫图兌?，保證連續(xù)供給氮?dú)夥€(wěn)定。同時(shí)，在吸附塔進(jìn)行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護(hù)床層的作用，在設(shè)備工作過(guò)程中起到極重要的工藝輔助作用。

　　質(zhì)譜氮?dú)獍l(fā)生器中的氮氧分離系統(tǒng)是制氮設(shè)備的主要部件，由兩個(gè)交替工作的吸附塔(塔內(nèi)裝碳分子篩)和氣動(dòng)閥、節(jié)流閥、消音器等組成。根據(jù)碳分子篩對(duì)空氣中主要成分氧氣和氮?dú)獾奈剿俾什煌?，在加壓吸附和降壓脫附過(guò)程中實(shí)現(xiàn)氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過(guò)程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應(yīng)的氣動(dòng)閥自動(dòng)運(yùn)行。